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The Wedge Error Compensation Technology Used in the Double Sides Mask Aligner
一种应用于双面光刻机中的楔形误差补偿技术
互联网摘选
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- ease n.容易;舒适;无忧无虑;v.减轻;缓和;（使）小心缓缓地移动;降低;（使）贬值;
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- mechanism n.[生]机制，机能，[乐]机理;（机械）结构，机械装置[作用]，（故事的）结构;[艺]手法，技巧，途径;机械作用;
